• Edwards 고급 진단 서비스

    FabWorks-iMS 고급 진단 서비스(EADS)에서는 다중 매개 변수 알고리즘을 제공하여 진공 펌프 및 제거 장비의 공정 관련 문제 발생을 예상합니다.  이 서비스는 다음 방법으로 비용을 크게 절감하고 생산성을 높일 수 있습니다.

    • 파손된 웨이퍼 배치 수 및 계획에 없는 도구 가동 중단 시간 최소화
    • 웨이퍼 처리량/생산량 극대화
    • 필요할 때 장비를 정비하여 TCO(총 소유 비용) 절감

    모델:
    다양한 FabWorks-iMS EADS 모델이 제공됩니다.

    • 건식 펌프 증착
    • 부스터 증착
    • 제거 연소기 막힘
    • 배기구/트랩 막힘
    • 터보 시스템 오염(개발 중)
    • 터보 시스템 누설 감지(개발 중

    일반적으로 모델마다 두 단계로 이루어진 세 가지 알림이 있습니다.

    EADS_Warning_Table

  • Edwards 역사

    F.D. Edwards가 1939년에 진공 장비의 제조를 처음 시작했을 때는 그는 기술 혁신에 노력할 것을 약속했으며 그 약속은 아직도 우리의 가슴 속에 굳건히 남아 있습니다.

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