응용 분야
평판 디스플레이
Edwards의 광범위한 STP Maglev 터보 분자 펌프는 기판 처리량과 습도 0 공정 상태를 극대화하면서도 전력, 공간 및 무게를 최소화하도록 설계되었습니다.
LED
Edwards의 최신 STP Maglev 터보 분자 펌프 제품군은 대용량, 고유량 응용 분야에서도 낮은 전력으로 가동되는 소형 "올인원" 솔루션입니다.
광전지
Edwards의 STP Maglev 터보 분자 펌프는 뛰어난 공정 가스 처리, 일관된 성능 및 최대 안정성을 통해 고객의 특정 용도를 충족하도록 최적화되었습니다.
반도체 공정
완전 자기 부양식 로터로 챔버 오염 위험을 줄이고 서비스 간격을 늘리도록 설계된 STP Maglev 터보 분자 펌프는 프로세스 도구를 안심하고 선택할 수 있습니다.
제품 범위
고급
고처리량 시리즈
새로운 “Advantage” 시리즈의
자기 부양식 터보 펌프는 차세대 반도체 식각 및
CVD 공정에 필요한 최고 수준의 처리량을 제공하도록
설계되었습니다. 이 시리즈는
안정성이 매우 뛰어난 고성능 H 시리즈 제품의 지속적인 기술 발전을 통해 개발되었습니다.
이 펌프의 첨단 로터 기술 및 3D 블레이드 설계와 함께 엄선된
최고의 재료가 결합되어 새로운 차원의 높은 처리량을 제공하는
터보 펌프를 여러 기존 제품과 동일한 설치 공간 내에서 만들 수 있었습니다.
이 제품군에는 처리 속도가 300l/s ~ 4500l/s이고
처리량이 최대 6slm이며 H2, N2 및 Ar
성능이 향상된 펌프가 포함됩니다.
완전히
통합된 제어기 및 전원 공급장치
실질적으로 올인원 터보 펌프
솔루션으로 뛰어난 기능과 절감 효과를 제공합니다.
제어기가 완전히 통합되어 있어
기존에 통합되지 않은 제어기에 필요하던 연결 케이블과 랙이 없으므로
설치 공간이 줄고 귀중한 fab 자산이 절약되며 설치 시간과 비용도
줍니다. 또한 온보드 제어기에 소형 전원 공급장치가 포함되므로,
기존 제품에 비해 높은 가스 유량에서 약 32%
에너지를 덜 소모합니다. 이 제품군은
300l/s ~ 4500l/s의 처리 속도로 작동되므로 여러 공정과
응용 분야에서 사용할 수 있습니다.
초고진공
UHV(초고진공) 시리즈의
자기 부양식 터보 분자 펌프는 여러
반도체, 표면 조사 또는 고에너지 물리학 업게에 적합한 제품입니다. 이 시리즈는
탁월한 안정성과 성능, 청결 상태 그리고 동급 최고의 저진동
수준을 제공합니다. 펌프는 모두 DC를 통해 전원이 공급되므로
배터리를 사용할 필요가 없으며 하프 랙 제어기를 사용하여 자동 튜닝 및
고급 진단 기능을 제공합니다. 이 제품군에는 속도가 300l/s
~ 1000 l/s이고 최대 압력이 10-10mbar 미만인 펌프가 포함되어(CF 플랜지),
열악한 공정의 위한 "C" 버전도 제공됩니다.
초고진공
저진동 시리즈
UHVLV(초고진공 저진동)
버전은 UHV(초고진공) 터보 분자 펌프의 모든 기능과 더불어
내장 방진장치를 포함하여 극히 적은 진동
성능을 제공합니다.
STP 제어기
Edwards의 다양한 SCU
제어 장치 중에서 선택하여 STP Maglev 터보 펌프와 함께 사용할 적절한 제어기를 선택합니다.
SCU-350 제어 장치
SCU-350 제어 장치는 EU-RoHS를
준수하는 제어기로 소형 터보 펌프에 사용됩니다. 이 제어기는
최신 제어 장치 모델과 완벽히 호환되지만 낮은
주파수 범위에서 진동 특성이 개선되었습니다. 또한 입력
전압이 낮아 전기 용량과 도구 전력 소모도
절감됩니다. SCU-350은 노이즈 내성이 개선되었고
범용 전압 기능이 있어 전환하지 않고도 100-240VAC의 공급 전압으로
작동됩니다.
SCU-800 제어 장치
SCU800 터보 펌프 제어 장치는
완전 디지털 제어기이며 중간 크기 펌프와 완벽하게 호환됩니다.
새로운 AVR(자동 진동 감소) 기술로
진동 수준이 더욱 절감되며 고급 사전 유지 보수 콜 기능을 통해
정확한 유지 보수 시간을 미리 알려 줍니다.
SCU-1600 제어 장치
완전
디지털 방식 SCU-1600 터보 펌프 제어 장치는
2000l/s ~ 4500l/s 범위의 STP 터보 펌프와 호환됩니다. 이 장치는 안정성, 향상된
통신 및 펌프 호환성을 제공하면서 백업 장치 요구 사항을 축소하고
총 소유 비용을 최소화합니다.