• iH 건식 반도체 진공 펌프 

    Edwards iH 건식 펌프는 미립자, 응축성 또는 부식성 부산물이 발생하는 까다로운 공정에 필요한 신뢰성이 높고 경제적인 펌프를 제공합니다. iH 시리즈에는 먼지 처리 성능을 향상시키는 한편 배기 소음을 줄여 주는 근본 설계에 혁신적인 외팔보 로터와 클로를 갖춘 5단 기본 펌프가 있습니다. 또한 iH 펌프에는 1단 메카니칼 부스터 펌프와 일체형 수냉식 모터가 장착되어 있습니다.



  • Applications
    Features & Benefits
    Pump Ranges
  • Our History

    When F.D. Edwards began manufacturing vacuum equipment in 1939, he made a commitment to technical innovation that remains solidly at the heart of what we do today.

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  • Product Documentation

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    iH Dry Pumps Product Brochure

  • FabWorks Obsolescence


    Edwards has obsoleted all FabWorks and pre-FabWorks Equipment Monitoring products on January 15, 2017

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