• 에드워드 ixl 고성능 건식 진공 펌프

    iXL 건식 펌프 제품군은 FPD(평판 디스플레이), 반도체 및 태양열 제조 시장 부문에서 발생하는 다양한 펌프다운 요구 사항을 전체를 해결합니다.

    이러한 업계 최고 성능의 펌프는 기판 처리량을 극대화하는 동시에 전력, 설치 면적 및 무게를 최소화하도록 설계되었습니다. 또한 정밀 검사 사이에 유지 보수가 필요하지 않습니다.


        

    Standard_Body_Image_iXL_Pumps

  • Small iXL Dry Pumps for Semi & Solar Applications
    Large iXL Dry Pumps for Harsh Applications
    IPUP for Applied Materials Process Platforms
  • Our History

    When F.D. Edwards began manufacturing vacuum equipment in 1939, he made a commitment to technical innovation that remains solidly at the heart of what we do today.

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